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一种激光焦平面组件超透镜视场角测试系统及方法
摘要
本发明公开了一种激光焦平面组件超透镜视场角测试系统及方法,包含超透镜、测试芯片、光功率测试平台;测试芯片与超透镜采用高分子胶材垂直耦合;通过旋转测试系统位移台和准直光纤模拟焦平面组件在不同入射角度下工作,直接测试激光焦平面组件中超透镜在不同入射角度下的光功率数值,将此光功率数值与理论仿真数值和裸测试芯片测试数值比对获得边界范围,快速计算出超透镜视场角。本发明超透镜可采用高分子胶与测试芯片贴装,贴装方式包括但不限于紧密贴装、结构件支撑,操作简单;测试芯片与超透镜无损分离,可重复使用,大幅降低测试成本;本发明中测试芯片材质、遮挡金属材质、测试芯片厚度可根据超透镜参数定制,具有普适性。
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