一种评价互连可靠性的快速热循环试验装置及方法

一种评价互连可靠性的快速热循环试验装置及方法，属于可靠性评价技术领域，具体方案如下：所述装置包括两个相对设置的金属导热夹具、两个多级半导体制冷器、两个散热片、电磁感应加热器和温度传感器，待测互连试件被夹持在两个金属导热夹具之间，两个多级半导体制冷器分别固定设置在两个金属导热夹具远离待测互连试件的表面，两个散热片分别固定设置在两个多级半导体制冷器的热极表面，电磁感应加热器设置在两个金属导热夹具之间且位于待测互连试件的周边，温度传感器固定设置在金属导热夹具上，多级半导体制冷器、电磁感应加热器和温度传感器均与微机电连接。本发明在易于实现快速温变的同时能效高，满足长期测试互连热循环可靠性的低成本要求。