有效

横向双扩散场效应晶体管、制作方法、芯片及电路

陈燕宁、余山、付振、刘芳、王凯、吴波、邓永峰、郁文、邵亚利、沈美根、张东
北京智芯微电子科技有限公司

摘要

本发明提供一种横向双扩散场效应晶体管、制作方法、芯片及电路,涉及半导体技术领域。晶体管包括:SOI衬底,SOI衬底的上层硅为凸字型结构,包括第一凸台和第二凸台;第一凸台被划分为体区和漂移区;氧化场板形成于漂移区上;源区第一导电类型掺杂区形成于靠近体区的第二凸台上;源区第二导电类型掺杂区形成于源区第一导电类型掺杂区上;源极形成于源区第二导电类型掺杂区上;漏区第一导电类型掺杂区形成于靠近漂移区的第二凸台上;漏区第二导电类型掺杂区形成于漏区第一导电类型掺杂区上;漏极形成于漏区第二导电类型掺杂区上。通过本发明提供的晶体管,能够改善自热效应,避免载流子迁移率下降,提高击穿电压、器件的性能和可靠性。

暂无引用专利