有效

LDMOS器件、LDMOS器件制造方法及芯片

余山、赵东艳、陈燕宁、付振、刘芳、王帅鹏、王凯、吴波、邓永峰、刘倩倩、郁文、张同
北京芯可鉴科技有限公司

摘要

本发明提供一种LDMOS器件、LDMOS器件制造方法及芯片,属于芯片领域。该LDMOS器件包括:半导体衬底以及形成在半导体衬底上的源极结构、栅极结构和漏极结构;半导体衬底内形成有漂移区和体区,栅极结构形成在源极结构和漏极结构之间;源极结构包括源极掺杂区和源极金属,源极掺杂区形成在体区内且距离半导体衬底上表面第一预设距离,源极金属与源极掺杂区相连;漏极结构包括漏极掺杂区和漏极金属,漏极掺杂区形成在漂移区内且距离半导体衬底上表面第一预设距离,漏极金属与漏极掺杂区相连;源极掺杂区与漏极掺杂区上方还形成有low‑K介质层,low‑K介质层环绕在源极金属和漏极金属的四周。