有效

横向双扩散场效应晶体管、制作方法、芯片及电路

余山、赵东艳、王于波、陈燕宁、付振、刘芳、王帅鹏、王凯、吴波、邓永峰、刘倩倩、郁文
北京芯可鉴科技有限公司

摘要

本发明提供一种横向双扩散场效应晶体管、制作方法、芯片及电路,涉及半导体技术领域。晶体管包括:衬底,衬底内形成有第一阱区、第二阱区、体区和漂移区;场板,形成漂移区的顶部,具有向上突出于漂移区表面的台阶部和向下凹陷至漂移区内的突出部,台阶部具有同一水平高度,突出部为中间厚两端薄的构型;至少两个具有第一导电类型的反型体,反型体为月牙型构型,形成于场板的突出部的下方且位于突出部的两端位置;源极形成于体区内,漏极形成于漂移区内远离源极的一侧,栅极形成于漂移区和体区的上表面,且栅极的多晶硅覆盖部分场板。通过本发明提供的晶体管,能够降低场板两端的表面电场,提高击穿电压,提升器件的可靠性。

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