1.一种器件击穿电压确定方法,其特征在于,包括:获取器件在不同工艺条件下的多条击穿电压特性曲线,其中所述不同工艺条件为掺杂浓度、热扩散温度和时间、离子注入能量和剂量、结构尺寸参数;获取所述多条击穿电压特性曲线对应的时间序列数据Y;基于普雷斯科特HP滤波法对所述时间序列数据Y进行滤波,得到所述时间序列数据Y中的周期项C;基于匹配算法确定所述周期项C的特征点;基于所述特征点确定所述器件击穿电压的置信区间。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述获取器件在不同工艺条件下的多条击穿电压特性曲线,包括:通过仿真和/或测量获取器件在不同工艺条件下的多条击穿电压特性曲线。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述器件为齐纳二极管。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述获取所述多条击穿电压特性曲线对应的时间序列数据 Y,包括:提取所述多条击穿电压特性曲线中的特征参数,构成初始时间序列数据,所述特征参数至少包括所述器件的电压值;对所述初始时间序列数据进行插值,得到等时间间隔的时间序列数据Y。
5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述特征参数还包括所述器件的电流值和/或所述击穿电压特性曲线对应的工艺条件。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述基于普雷斯科特HP滤波法对所述时间序列数据Y进行滤波,得到所述时间序列数据Y中的周期项C,包括:基于公式Y=[I+λF]G确定所述时间序列数据Y的趋势项G,其中,I为单位矩阵,F为系数矩阵,λ为平滑指数,λ≥0;基于公式C=λFG确定所述周期项C。
7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述系数矩阵F通过以下方式确定:确定所述时间序列数据Y的损失函数M;根据公式确定最小损失函数min(M),其中,yt为所述时间序列数据Y中的数据项,Y={y1,y2……yT},gt为所述趋势项G中的数据项,G={g1,g2……gT},T为时间序列数据中的最大时间值;基于上述最小损失函数min(M)确定公式对g1、g2、……、gT的一阶导数确定所述系数矩阵 。
8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述匹配算法包括以下中的至少一项:平均绝对差算法MAD、绝对误差和算法SAD、误差平方和算法SSD、平均误差平方和算法MSD、归一化积相关算法NCC、序贯相似性检测算法SSDA、阿达马变换算法SATD。
9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,当基于所述平均绝对差算法MAD确定所述周期项C的特征点时,包括:确定所述周期项C的中位数MA;使用所述周期项C减去所述中位数MA并取绝对值得到变量CB;确定所述变量CB的中位数MMA;当所述变量CB满足预设分布时,确定所述变量CB的置信区间[a,b] ;确定所述周期项C中未落入所述置信区间[a,b]的数据为所述特征点。
10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,所述预设分布包括以下中的至少之一:指数分布、正态分布、卡方分布、t分布和F分布;所述确定所述变量CB的置信区间[a,b],包括:根据预设的置信度确定所述置信区间[a,b]。
11.根据权利要求10所述的方法,其特征在于,所述预设的置信度大于等于90%,并小于等于99%。
12.根据权利要求8-11中任一项所述的方法,其特征在于,还包括:基于前向分析法确定所述周期项C的多个区间;基于所述匹配算法确定各区间特征点;基于各区间特征点,确定所述周期项C的特征点。
13.根据权利要求12所述的方法,其特征在于,所述基于前向分析法分区间确定所述周期项C的各区间特征点,包括:对数据长度为n周期项C,以k为步长,i为区间长度,分区间确定所述周期项C的各区间特征点;其中,k为正整数,i≤n。
14.一种器件击穿电压确定装置,其特征在于,包括:第一获取模块,被配置为获取器件在不同工艺条件下的多条击穿电压特性曲线,其中所述不同工艺条件为掺杂浓度、热扩散温度和时间、离子注入能量和剂量、结构尺寸参数;第二获取模块,被配置为获取所述多条击穿电压特性曲线对应的时间序列数据Y;滤波模块,被配置为基于普雷斯科特HP滤波法对所述时间序列数据Y进行滤波,得到所述时间序列数据Y中的周期项C;匹配模块,被配置为基于匹配算法确定所述周期项C的特征点;确定模块,被配置为基于所述特征点确定所述器件击穿电压的置信区间。
15.根据权利要求14所述的装置,其特征在于,所述获取器件在不同工艺条件下的多条击穿电压特性曲线,包括:通过仿真和/或测量获取器件在不同工艺条件下的多条击穿电压特性曲线。
16.根据权利要求14所述的装置,其特征在于,所述器件为齐纳二极管。
17.根据权利要求14所述的装置,其特征在于,所述获取所述多条击穿电压特性曲线对应的时间序列数据 Y,包括:提取所述多条击穿电压特性曲线中的特征参数,构成初始时间序列数据,所述特征参数至少包括所述器件的电压值;对所述初始时间序列数据进行插值,得到等时间间隔的时间序列数据Y。
18.根据权利要求17所述的装置,其特征在于,所述特征参数还包括所述器件的电流值和/或所述击穿电压特性曲线对应的工艺条件。
19.根据权利要求14所述的装置,其特征在于,所述基于普雷斯科特HP滤波法对所述时间序列数据Y进行滤波,得到所述时间序列数据Y中的周期项C,包括:基于公式Y=[I+λF]G确定所述时间序列数据Y的趋势项G,其中,I为单位矩阵,F为系数矩阵,λ为平滑指数,λ≥0;基于公式C=λFG确定所述周期项C。
20.根据权利要求19所述的装置,其特征在于,所述系数矩阵F通过以下方式确定:确定所述时间序列数据Y的损失函数M;根据公式确定最小损失函数min(M),其中,yt为所述时间序列数据Y中的数据项,Y={y1,y2……yT},gt为所述趋势项G中的数据项,G={g1,g2……gT},T为时间序列数据中的最大时间值;基于上述最小损失函数min(M)确定公式对g1、g2、……、gT的一阶导数确定所述系数矩阵 。
21.根据权利要求14所述的装置,其特征在于,所述匹配算法包括以下中的至少一项:平均绝对差算法MAD、绝对误差和算法SAD、误差平方和算法SSD、平均误差平方和算法MSD、归一化积相关算法NCC、序贯相似性检测算法SSDA、阿达马变换算法SATD。
22.根据权利要求21所述的装置,其特征在于,当基于所述平均绝对差算法MAD确定所述周期项C的特征点时,包括:确定所述周期项C的中位数MA;使用所述周期项C减去所述中位数MA并取绝对值得到变量CB;确定所述变量CB的中位数MMA;当所述变量CB满足预设分布时,确定所述变量CB的置信区间[a,b] ;确定所述周期项C中未落入所述置信区间[a,b]的数据为所述特征点。
23.根据权利要求22所述的装置,其特征在于,所述预设分布包括以下中的至少之一:指数分布、正态分布、卡方分布、t分布和F分布;所述确定所述变量CB的置信区间[a,b],包括:根据预设的置信度确定所述置信区间[a,b]。
24.根据权利要求23所述的装置,其特征在于,所述预设的置信度大于等于90%,并小于等于99%。
25.根据权利要求21-24中任一项所述的装置,其特征在于,还包括:基于前向分析法确定所述周期项C的多个区间;基于所述匹配算法确定各区间特征点;基于各区间特征点,确定所述周期项C的特征点。
26.根据权利要求25所述的装置,其特征在于,所述基于前向分析法分区间确定所述周期项C的各区间特征点,包括:对数据长度为n周期项C,以k为步长,i为区间长度,分区间确定所述周期项C的各区间特征点;其中,k为正整数,i≤n。
27.一种芯片,其特征在于,所述芯片包括如权利要求14-26中任一项所述的装置。
28.一种电子设备,其特征在于,包括存储器和处理器;其中,所述存储器用于存储一条或多条计算机指令,其中,所述一条或多条计算机指令被所述处理器执行以实现权利要求1-13任一项所述的方法步骤。
29.一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机指令,其特征在于,该计算机指令被处理器执行时实现权利要求1-13任一项所述的方法步骤。