有效

NLDMOS器件、NLDMOS器件的制备方法及芯片

邓永峰、赵东艳、王于波、陈燕宁、付振、刘芳、吴波、郁文、王凯、刘倩倩、余山
北京芯可鉴科技有限公司

摘要

本发明涉及半导体技术领域,公开了一种NLDMOS器件、NLDMOS器件的制备方法及芯片。所述NLDMOS器件包括:衬底;设于所述衬底上的P型体区与N型漂移区,其中,所述N型漂移区包括低剂量N型漂移区和高剂量N型漂移区;设于所述低剂量N型漂移区上的低掺杂N型离子注入层;以及设于所述高剂量N型漂移区上的N型阱区,其中,所述低剂量N型漂移区、所述低掺杂N型离子注入层与所述N型阱区在横向上形成掺杂剂量逐渐增大的变掺杂区,由此本发明在不牺牲关断状态下的击穿电压的情况下,有效地降低导通电阻,同时还可有效地抑制导通状态下的基区扩展(Kirk)效应,从而提高NLDMOS器件在导通状态下的安全工作区和可靠性。

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