有效

横向双扩散场效应晶体管、制作方法、芯片及电路

余山、赵东艳、王于波、陈燕宁、付振、刘芳、王凯、吴波、邓永峰、刘倩倩、郁文
北京芯可鉴科技有限公司

摘要

本发明提供一种横向双扩散场效应晶体管、制作方法、芯片及电路。晶体管包括:SOI衬底,SOI衬底由下至上依次包括硅衬底、氧化层和上层硅;上层硅为具有两个坡面的凸台状梯形体结构;上层硅被划分为体区和漂移区,体区具有第一导电类型,漂移区具有第二导电类型;源极,形成于体区的上表面及体区的两个坡面的外沿;漏极,形成于漂移区的上表面及漂移区的两个坡面的外沿;二氧化硅层,形成于体区的上表面、漂移区的上表面以及漂移区的两个坡面上;栅极,形成于体区的两个坡面上;多晶硅场板,形成于漂移区的两个坡面上的二氧化硅层的表面。通过本发明提供的方法,能够提高栅极对沟道的控制能力,提高击穿电压。