1.一种横向双扩散场效应晶体管,其特征在于,所述横向双扩散场效应晶体管包括:衬底,所述衬底由上至下依次包括第一衬底层、第一氧化层、重掺杂层、第二氧化层和第二衬底层,所述第一衬底层和所述第一氧化层凸出于所述重掺杂层的表面,所述第一衬底层和所述第二衬底层具有第一导电类型,所述重掺杂层具有与第一导电类型不同的第二导电类型;所述第一衬底层内形成有阱区、体区、漂移区、源极、漏极和栅极;氧化隔离层,形成于所述第一衬底层和所述第一氧化层的两侧,且所述氧化隔离层的底部与所述重掺杂层接触;所述氧化隔离层外侧形成有重掺杂多晶硅区,所述重掺杂多晶硅区的底部与所述重掺杂层接触,所述重掺杂多晶硅区具有第二导电类型;所述重掺杂多晶硅区内形成有接电极,所述重掺杂层作为场板。
2.根据权利要求1所述的横向双扩散场效应晶体管,其特征在于,漂移区远离所述体区的一侧形成有浅槽隔离。
3.根据权利要求2所述的横向双扩散场效应晶体管,其特征在于,所述浅槽隔离至少为两个;相邻两个浅槽隔离之间形成有第一保护环,所述第一保护环具有第二导电类型。
4.根据权利要求2所述的横向双扩散场效应晶体管,其特征在于,所述浅槽隔离外侧形成有第二保护环,所述第二保护环具有第一导电类型。
5.根据权利要求1所述的横向双扩散场效应晶体管,其特征在于,所述漂移区内还形成有微型浅槽隔离,所述微型浅槽隔离被部分栅极的多晶硅覆盖。
6.根据权利要求1所述的横向双扩散场效应晶体管,其特征在于,所述第一氧化层的厚度介于1000-1500埃。
7.根据权利要求1所述的横向双扩散场效应晶体管,其特征在于,所述氧化隔离层的厚度为1500埃。
8.一种横向双扩散场效应晶体管制作方法,其特征在于,所述横向双扩散场效应晶体管制作方法包括:形成衬底,所述衬底由上至下依次包括第一衬底层、第一氧化层、重掺杂层、第二氧化层和第二衬底层,所述第一衬底层和所述第一氧化层凸出于所述重掺杂层的表面,所述第一衬底层和所述第二衬底层具有第一导电类型,所述重掺杂层具有与第一导电类型不同的第二导电类型;所述第一衬底层内形成有阱区、体区和漂移区;在所述第一衬底层和所述第一氧化层的两侧形成氧化隔离层,所述氧化隔离层的底部与所述重掺杂层接触;在所述氧化隔离层外侧形成重掺杂多晶硅区,所述重掺杂多晶硅区的底部与所述重掺杂层接触,所述重掺杂多晶硅区具有第二导电类型;在所述重掺杂多晶硅区内形成接电极,所述重掺杂层作为场板;在所述第一衬底层内形成源极、漏极和栅极。
9.根据权利要求8所述的横向双扩散场效应晶体管制作方法,其特征在于,所述衬底由SOI衬底和硅衬底制作而成。
10.根据权利要求8所述的横向双扩散场效应晶体管制作方法,其特征在于,所述形成衬底,包括:提供一SOI衬底,所述SOI衬底由上至下包括上层硅、氧化层和硅衬底层;对所述SOI衬底的上层硅进行重掺杂,形成重掺杂层;在所述重掺杂层表面形成氧化层;提供一硅衬底,所述硅衬底表面具有氧化层;将所述硅衬底的氧化层与所述SOI衬底的氧化层进行粘接,以形成初始衬底,所述初始衬底由上至下依次包括硅衬底、氧化层、重掺杂层、第二氧化层和第二衬底层;在所述硅衬底内形成所述阱区、所述漂移区和所述体区;利用刻蚀工艺对所述硅衬底和氧化层的两侧进行刻蚀。
11.根据权利要求10所述的横向双扩散场效应晶体管制作方法,其特征在于,所述方法还包括:在将所述硅衬底的氧化层与所述SOI衬底的氧化层进行粘接之后,将所述硅衬底的厚度减薄至设定厚度。
12.一种芯片,其特征在于,该芯片包括权利要求1-7中任一项所述的横向双扩散场效应晶体管。
13.一种电路,其特征在于,该电路包括权利要求1-7中任一项所述的横向双扩散场效应晶体管。