有效

横向双扩散场效应晶体管、制作方法、芯片及电路

余山、赵东艳、王于波、陈燕宁、付振、刘芳、王凯、吴波、邓永峰、刘倩倩、郁文
北京芯可鉴科技有限公司

摘要

本发明提供一种横向双扩散场效应晶体管、制作方法、芯片及电路。晶体管包括:衬底,衬底由上至下依次包括第一衬底层、第一氧化层、重掺杂层、第二氧化层和第二衬底层,第一衬底层和第一氧化层凸出于重掺杂层的表面,第一衬底层和第二衬底层具有第一导电类型,重掺杂层具有第二导电类型;第一衬底层内形成有阱区、体区、漂移区、源极、漏极和栅极;氧化隔离层,形成于第一衬底层和第一氧化层的两侧,且氧化隔离层的底部与重掺杂层接触;氧化隔离层外侧形成有重掺杂多晶硅区,重掺杂多晶硅区的底部与重掺杂层接触,重掺杂多晶硅区具有第二导电类型;重掺杂多晶硅区内形成有接电极。通过本发明提供的晶体管能够降低表面电场,提高击穿电压。

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