失效
一种LDMOSFET、制备方法及芯片、电路
摘要
本发明实施例提供一种LDMOSFET、制备方法及芯片、电路。所述LDMOSFET包括:衬底,所述衬底上设有埋层;所述埋层和衬底上方设有高压N型阱和第一高压P型阱;所述高压N型阱上方设有第二高压P型阱;所述第二高压P型阱上方依次设有第一P型漂移区、N型体区及第二P型漂移区;所述第一P型漂移区上设有第一沟道漏极,所述第一沟道漏极的深度小于所述第一P型漂移区的深度;所述第二P型漂移区上设有第二沟道漏极,所述第二沟道漏极的深度小于所述第二P型漂移区的深度;所述第一沟道漏极和第二沟道漏极均设有锗硅。所述LDMOSFET通过提高载流子的迁移率,大大提升了自身的驱动能力和驱动速度。
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