1.一种NLDMOS器件,其特征在于,包括:衬底,所述衬底上方设有第一高压N阱区和第二高压N阱区,所述第一高压N阱区和第二高压N阱区之间留有衬底间隙;所述第一高压N阱区和第二高压N阱区上设有P型降低电场区,所述P型降低电场区经过所述衬底间隙;所述第一高压N阱区上还设有P型体区,所述第二高压N阱区上设有N型漂移区;所述N型漂移区包括低剂量N型漂移区和高剂量N型漂移区;所述P型体区、衬底间隙以及N型漂移区形成PIN结。
2.根据权利要求1所述的NLDMOS器件,其特征在于,所述低剂量N型漂移区上设有低剂量、低能量P型离子注入层;所述高剂量N型漂移区上设有低掺杂N型离子注入层;将场氧设于所述低剂量N型漂移区和高剂量N型漂移区上;所述高剂量N型漂移区上设有重掺杂N型离子注入层,所述场氧的一端与所述重掺杂N型离子注入层的一端相接;所述场氧的底部设于所述低剂量、低能量P型离子注入层上。
3.根据权利要求2所述的NLDMOS器件,其特征在于,所述NLDMOS器件上方还设有栅极;所述低剂量、低能量P型离子注入层的一侧超出所述栅极同侧的外沿。
4.根据权利要求1所述的NLDMOS器件,其特征在于,所述衬底为P型衬底。
5.根据权利要求1所述的NLDMOS器件,其特征在于,所述第一高压N阱区设有隔离区、重掺杂N型离子注入层、重掺杂P型离子注入层;第二高压N阱区上设有隔离区和重掺杂N型离子注入层。
6.一种NLDMOS器件的制备方法,其特征在于,包括:形成衬底;在所述衬底上方形成第一高压N阱区和第二高压N阱区,所述第一高压N阱区和第二高压N阱区之间留有衬底间隙;在所述第一高压N阱区和第二高压N阱区上形成P型降低电场区,所述P型降低电场区经过所述衬底间隙;在所述第一高压N阱区上还形成P型体区,在所述第二高压N阱区上形成N型漂移区,所述N型漂移区包括低剂量N型漂移区和高剂量N型漂移区;将所述P型体区、衬底间隙以及N型漂移区形成PIN结。
7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,在所述低剂量N型漂移区上形成低剂量、低能量P型离子注入层;在所述高剂量N型漂移区上形成低掺杂N型离子注入层;所述高剂量N型漂移区上设有重掺杂N型离子注入层,场氧的一端与所述重掺杂N型离子注入层的一端相接;所述场氧的底部设于所述低剂量、低能量P型离子注入层上。
8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,在所述NLDMOS器件上方形成栅极,所述低剂量、低能量P型离子注入层的一侧超出所述栅极同侧的外沿。
9.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述衬底为P型衬底。
10.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,在所述第一高压N阱区设有隔离区、重掺杂N型离子注入层、重掺杂P型离子注入层;第二高压N阱区上设有隔离区和重掺杂N型离子注入层。
11.一种芯片,其特征在于,该芯片包括权利要求1-5中任一项所述的NLDMOS器件。