一种磷化铟晶圆传递清洗盒

1.一种磷化铟晶圆传递清洗盒，其特征在于，整体为长方体结构，包括主体、上填充挡板、下填充挡板和前挡板；主体包括支撑框和方形过渡板(1)，支撑框包括左挡板、右挡板和后挡板，左挡板、右挡板和后挡板固定连接形成前侧开口的框架结构，前挡板可插拔的安装在支撑框的前侧开口处，方形过渡板(1)有多层，间隔布置在支撑框内，最上层的方形过渡板(1)上布置上填充挡板，最下层的方形过渡板(1)上布置下填充挡板，中部的方形过渡板(1)上布置磷化铟晶圆。 2.如权利要求1所述的磷化铟晶圆传递清洗盒，其特征在于，所述左挡板、右挡板的前侧设置有前挡板卡槽(5)，前挡板可插拔的安装在前挡板卡槽(5)内。 3.如权利要求2所述的磷化铟晶圆传递清洗盒，其特征在于，每层所述方形过渡板(1)上设置有圆形的晶圆凹槽(2)，用于放置磷化铟晶圆。 4.如权利要求3所述的磷化铟晶圆传递清洗盒，其特征在于，所述晶圆凹槽(2)所在的圆形为方形过渡板(1)所在方形的内切圆。 5.如权利要求4所述的磷化铟晶圆传递清洗盒，其特征在于，所述晶圆凹槽(2)上开设有多个通孔(3)，通过通孔(3)清洗和吹扫磷化铟晶圆。 6.如权利要求5所述的磷化铟晶圆传递清洗盒，其特征在于，多个所述通孔(3)分别开设在晶圆凹槽(2)的中心、以及以该中心为圆心的若干个同心圆上，每个同心圆上均匀开设多个通孔(3)，所有通孔(3)的位置和数量以满足其在晶圆凹槽(2)上均匀分布为准。 7.如权利要求6所述的磷化铟晶圆传递清洗盒，其特征在于，所述方形过渡板(1)上开设有下凹槽(4)，下凹槽(4)形成在方形过渡板(1)面向前挡板的侧面上，为方形开口槽，用于通过下凹槽(4)挑起并夹取磷化铟晶圆。 8.如权利要求7所述的磷化铟晶圆传递清洗盒，其特征在于，所述上填充挡板、下填充挡板为实心圆板，前挡板为实心方板。 9.如权利要求1-8中任一项所述的磷化铟晶圆传递清洗盒，其特征在于，中部的所述方形过渡板(1)上设置有编号标识，与存放在该层的磷化铟晶圆一一对应。 10.如权利要求9所述的磷化铟晶圆传递清洗盒，其特征在于，所述传递清洗盒采用聚四氟乙烯材料制作。