失效
IGBT器件的测试装置、测试方法及电子设备
摘要
本发明涉及半导体技术领域,具体涉及一种IGBT器件的测试装置、测试方法及电子设备,其中,测试装置包括:压力传感器,用于检测施加于待测IGBT器件上的多组接触压力值;电压表,两端分别与待测IGBT器件的集电极和发射极连接,用于检测待测IGBT器件集电极与发射极之间的多组通态压降值;固定电流源,与待测IGBT器件集电极和发射极分别连接,用于向待测IGBT器件提供固定电流;处理器,与压力传感器及所述电压表连接,用于利用多组接触压力值、多组通态压降值、固定电流以及施压面积计算得到待测IGBT器件的接触电阻值。本发明提供的IGBT器件的测试装置,利用多组通态压降值、固定电流以及施压面积计算得到接触电阻值,无需测量IGBT器件的微观参数,测试简单易于操作。
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