失效

一种半导体器件的烧结方法及半导体器件的制造方法

王亮、田丽纷、李现兵、张朋、武伟、林仲康、石浩、张喆、唐新灵
国网智能电网研究院有限公司

摘要

本发明提供的半导体器件的烧结方法及半导体器件的制造方法,所述半导体器件包括半导体芯片、金属基板以及设置在所述半导体芯片与所述金属基板之间的焊膏,半导体器件的烧结方法包括:将所述半导体器件升温至第一预定温度;在酸性环境下保持所述第一预定温度第一预定时间;将所述半导体器件继续升温至第二预定温度,所述第二预定温度大于所述第一预定温度;保持所述第二预定温度第二预定时间。可以使焊膏内部的组织充分均匀化,有利于焊膏内部各成分之间的均匀扩散,提高了整个焊膏的导电性能。

暂无引用专利