有效

半导体器件及制造方法、芯片、电子设备

郁文、赵东艳、吴波、陈燕宁、邵瑾、刘芳、王凯、邓永峰、赵扬、许玉洁、左阿惠
北京智芯微电子科技有限公司

摘要

本发明涉及半导体领域,提供一种半导体器件及制造方法、芯片、电子设备。半导体器件包括:衬底、阱区、缓冲区、源区、漏区、介质层以及栅极,阱区、缓冲区、源区及漏区位于衬底上,源区形成于阱区的表面,漏区形成于缓冲区的表面。介质层包括高介电常数材料的第一介质层以及低介电常数材料的第二介质层,第一介质层位于阱区与缓冲区之间的衬底的表面,并延伸至阱区的表面;栅极位于第一介质层的表面,第二介质层位于缓冲区和漏区的表面。本发明利用高介电常数材料的第一介质层,在阱区与缓冲区之间的衬底内形成反型沟道,降低导通电阻;通过缓冲区提高漏端的击穿电压,通过低介电常数材料的第二介质层降低栅漏电容,同时增加栅极与漏端的耐压特性。