1.一种LDMOS器件,包括:半导体衬底(1)、栅极结构(6)、源极区(5)、漏极区(7)、体区(4)以及漂移区(3);所述半导体衬底(1)内形成有所述体区(4)和所述漂移区(3);所述栅极结构(6)设置在半导体衬底(1)的上方,且所述栅极结构(6)一端位于所述体区(4)上方,另一端位于所述漂移区(3)上方;所述源极区(5)形成在所述体区(4)内且位于栅极结构(6)的一侧;所述漏极区(7)形成在所述漂移区(3)内且位于栅极结构(6)的另一侧;其特征在于,所述栅极结构(6)包括二氧化硅层(63)、高K金属氧化物层(62)和金属电极层(61),所述二氧化硅层(63)形成在所述半导体衬底(1)的上方,所述高K金属氧化物层(62)形成在所述二氧化硅层(63)上方,所述金属电极层(61)形成在所述高K金属氧化物层(62)上方;所述高K金属氧化物层(62)为阶梯状结构,且漂移区(3)上方的高K金属氧化物层(62)的厚度大于体区(4)上方的高K金属氧化物层(62)的厚度;所述LDMOS器件的栅极结构与漂移区之间未设置隔离结构。
2.根据权利要求1所述的LDMOS器件,其特征在于,所述金属电极层(61)的金属元素与所述高K金属氧化物层(62)的金属元素一致。
3.根据权利要求1所述的LDMOS器件,其特征在于,所述半导体衬底(1)内还形成有高压阱区(2),所述漂移区(3)和所述体区(4)形成在所述高压阱区(2)内。
4.根据权利要求3所述的LDMOS器件,其特征在于,所述高压阱区(2)内还设置有第一浅沟槽隔离区(8)和第一保护环(9),所述第一浅沟槽隔离区(8)设置在第一保护环(9)与所述漂移区(3)之间。
5.根据权利要求4所述的LDMOS器件,其特征在于,所述半导体衬底(1)内还设置有第二浅沟槽隔离区(10)和第二保护环(11),所述第二浅沟槽隔离区(10)设置在第二保护环(11)与第一保护环(9)之间。
6.根据权利要求5所述的LDMOS器件,其特征在于,所述第一保护环(9)为第一导电类型的保护环,所述第二保护环(11)为第二导电类型的保护环。
7.根据权利要求6所述的LDMOS器件,其特征在于,所述第一导电类型为N型,所述第二导电类型为P型;或者所述第一导电类型为P型,所述第二导电类型为N型。
8.一种LDMOS器件的制备方法,所述方法用于制备权利要求1-7中任一项所述的LDMOS器件,其特征在于,所述制备方法包括:S1:采用离子注入工艺在半导体衬底(1)内部形成高压阱区(2);S2:采用离子注入工艺在半导体衬底(1)内部形成漂移区(3)和体区(4);S3:在所述半导体衬底(1)表面生长二氧化硅材料,形成所述二氧化硅层(63);S4:采用ALD工艺制备高K金属氧化物,在所述二氧化硅层(63)上方形成高K金属氧化物层(62);S5:采用溅射工艺生长金属材料,光刻并刻蚀定义出金属电极层(61);S6:采用离子注入工艺在漂移区(3)内形成漏极区(7),在体区(4)内形成源极区(5)。
9.根据权利要求8所述的LDMOS器件的制备方法,其特征在于,步骤S3具体包括:S401:采用ALD工艺制备高K金属氧化物,在所述二氧化硅层(63)上方形成高K金属氧化物结构,高K金属氧化物结构的厚度与漂移区(3)上方的高K金属氧化物层(62)的厚度相同;S402:采用光刻工艺在所形成的高K金属氧化物结构上定义出体区(4)对应的区域;S403:采用刻蚀工艺对体区(4)对应的区域范围内的高K金属氧化物结构进行减薄,得到阶梯状高K金属氧化物层(62)。
10.根据权利要求8所述的LDMOS器件的制备方法,其特征在于,步骤S3具体包括:S401:采用ALD工艺制备高K金属氧化物,在所述二氧化硅层(63)上方形成第一层高k金属氧化物结构,第一层高k金属氧化物结构的厚度与体区(4)上方的高K金属氧化物层(62)的厚度相同;S402:采用光刻工艺在所形成的高K金属氧化物结构上定义出漂移区(3)对应的区域;S403:采用ALD工艺制备在漂移区(3)对应区域范围内的高K金属氧化物结构上制备第二层高K金属氧化物结构,得到阶梯状高K金属氧化物层(62)。
11.根据权利要求8所述的LDMOS器件的制备方法,其特征在于,所述制备方法还包括:在形成所述体区(4)和漂移区(3)之后,在所述半导体衬底(1)上制作第一浅沟槽隔离区(8)和第二浅沟槽隔离区(10);在形成源极和漏极后,采用离子注入工艺在所述半导体衬底(1)内形成第一保护环(9)和第二保护环(11)。
12.一种芯片,其特征在于,所述芯片采用权利要求1-7中任一项所述的LDMOS器件。