1.一种LDMOSFET器件的制作方法,其特征在于,所述方法包括:在衬底上形成第一氧化层;在第一氧化层上粘接硅片,对粘接的硅片进行刻蚀处理,去除硅片两侧边缘的硅材料;在刻蚀后的硅片上形成体区和漂移区;在漂移区的上方形成第二氧化层,在漂移区的侧方形成第三氧化层;在第二氧化层上形成多晶硅栅极,在第三氧化层的侧方形成多晶硅侧板;所述在衬底上形成第一氧化层,包括:采用SOI材料作为衬底,在衬底上形成N型重掺杂区,在N型重掺杂区上形成第一氧化层。
2.根据权利要求1所述的LDMOSFET器件的制作方法,其特征在于,所述在N型重掺杂区上形成第一氧化层,包括:对N型重掺杂区进行刻蚀处理,以在N型重掺杂区内形成浅槽;对N型重掺杂区进行热氧化处理生成氧化物,以在N型重掺杂区的浅槽内及N型重掺杂区的表面形成第一氧化层。
3.根据权利要求1所述的LDMOSFET器件的制作方法,其特征在于,所述在刻蚀后的硅片上形成体区和漂移区,包括:在刻蚀后的硅片上进行选择性外延形成体区和漂移区。
4.根据权利要求3所述的LDMOSFET器件的制作方法,其特征在于,所述在刻蚀后的硅片上进行选择性外延形成体区和漂移区,包括:在刻蚀后的硅片上淀积二氧化硅层,对二氧化硅层及硅片进行刻蚀处理,以在硅片上形成凹槽,对凹槽进行选择性外延形成体区,硅片中除体区以外的区域形成为漂移区。
5.根据权利要求1所述的LDMOSFET器件的制作方法,其特征在于,所述在刻蚀后的硅片上形成体区和漂移区,包括:在刻蚀后的硅片上进行离子注入形成体区,硅片中除体区以外的区域形成为漂移区。
6.根据权利要求1所述的LDMOSFET器件的制作方法,其特征在于,所述在漂移区的上方形成第二氧化层,在漂移区的侧方形成第三氧化层,包括:在体区的上方、漂移区的上方及漂移区的侧方淀积氧化物;对氧化物进行刻蚀处理,以在漂移区的上方形成第二氧化层,在漂移区的侧方形成第三氧化层。
7.根据权利要求1所述的LDMOSFET器件的制作方法,其特征在于,所述在第二氧化层上形成多晶硅栅极,在第三氧化层的侧方形成多晶硅侧板,包括:在体区和漂移区的上方、第二氧化层的上方以及第三氧化层的侧方淀积多晶硅,对多晶硅进行重掺杂离子注入;对离子注入后的多晶硅进行刻蚀处理,保留第二氧化层上方的多晶硅和第三氧化层侧方的多晶硅,将第二氧化层上方的多晶硅作为多晶硅栅极,第三氧化层侧方的多晶硅作为多晶硅侧板。
8.一种LDMOSFET器件,包括衬底、体区、漂移区及多晶硅栅极,其特征在于,还包括:第一氧化层、第二氧化层及第三氧化层;所述第一氧化层形成于衬底上,作为器件底部的场板隔离介质层;所述第二氧化层形成于漂移区的上方,作为器件表面的场板隔离介质层;所述第三氧化层形成于漂移区的侧方,作为器件侧面的场板隔离介质层。
9.根据权利要求8所述的LDMOSFET器件,其特征在于,所述衬底包括顶层硅、背衬底以及顶层硅与背衬底之间的埋氧化层。
10.根据权利要求9所述的LDMOSFET器件,其特征在于,所述第一氧化层通过以下方式形成:对衬底的顶层硅进行离子掺杂形成N型重掺杂区;对N型重掺杂区进行刻蚀处理,以在N型重掺杂区内形成浅槽;对N型重掺杂区进行热氧化处理生成氧化物,以在N型重掺杂区的浅槽内及N型重掺杂区的表面形成第一氧化层。
11.根据权利要求8所述的LDMOSFET器件,其特征在于,所述体区和漂移区通过以下方式形成:在第一氧化层上粘接硅片,对粘接的硅片进行刻蚀处理,去除硅片两侧边缘的硅材料;在刻蚀后的硅片上形成体区和漂移区。
12.根据权利要求11所述的LDMOSFET器件,其特征在于,所述在刻蚀后的硅片上形成体区和漂移区,包括:在刻蚀后的硅片上进行选择性外延形成体区和漂移区。
13.根据权利要求12所述的LDMOSFET器件,其特征在于,所述在刻蚀后的硅片上进行选择性外延形成体区和漂移区,包括:在刻蚀后的硅片上淀积二氧化硅层,对二氧化硅层及硅片进行刻蚀处理,以在硅片上形成凹槽,对凹槽进行选择性外延形成体区,硅片中除体区以外的区域形成为漂移区。
14.根据权利要求8所述的LDMOSFET器件,其特征在于,所述第二氧化层和第三氧化层通过以下方式形成:在体区的上方、漂移区的上方及漂移区的侧方淀积氧化物,对氧化物进行刻蚀处理,以在漂移区的上方形成第二氧化层,在漂移区的侧方形成第三氧化层。