有效

LDMOSFET器件的制作方法及LDMOSFET器件

余山、赵东艳、王于波、陈燕宁、王帅鹏、刘芳、王凯、吴波、邓永峰、刘倩倩、郁文
北京智芯微电子科技有限公司

摘要

本发明涉及半导体领域,提供一种LDMOSFET器件的制作方法及LDMOSFET器件。所述LDMOSFET器件的制作方法包括:在衬底上形成第一氧化层;在第一氧化层上粘接硅片,对粘接的硅片进行刻蚀处理,去除硅片两侧边缘的硅材料;在刻蚀后的硅片上形成体区和漂移区;在漂移区的上方形成第二氧化层,在漂移区的侧方形成第三氧化层;在第二氧化层上形成多晶硅栅极,在第三氧化层的侧方形成多晶硅侧板。本发明通过第一氧化层、第二氧化层、第三氧化层构成LDMOSFET器件的三场板结构,不仅可以降低器件的表面电场,还可以降低器件的内部电场,在确保低导通电阻的前提下,提高LDMOSFET器件的击穿电压。