1.一种芯片局部涂覆装置,其特征在于,所述装置包括:机箱、涂覆装置、载物台和显微镜,所述机箱的一侧开设有涂覆作业口,所述涂覆装置包括涂覆探针,所述涂覆装置安装在所述机箱内部,且所述涂覆探针从所述涂覆作业口伸出至所述机箱外部,所述显微镜和所述载物台均固定安装在所述机箱上,且所述载物台位于所述涂覆作业口的下方,所述显微镜位于所述涂覆作业口的上方。
2.根据权利要求1所述的芯片局部涂覆装置,其特征在于,所述涂覆装置还包括蠕动泵和硅脂储存罐;所述硅脂储存罐通过硅脂传输管与蠕动泵的进料口连通,所述蠕动泵的出料口通过硅脂传输管与涂覆探针的进料口连通。
3.根据权利要求2所述的芯片局部涂覆装置,其特征在于,所述涂覆装置还包括涂覆控制按钮;所述涂覆控制按钮通过线缆连接到所述蠕动泵的控制端,用于控制所述蠕动泵执行相应的动作。
4.根据权利要求1所述的芯片局部涂覆装置,其特征在于,所述显微镜包括固定架、显微镜本体、光源组件、目镜和物镜;所述显微镜本体通过固定架固定在所述机箱上,所述物镜固定安装在所述显微镜本体的底部,所述目镜固定安装在所述显微镜本体的上部,所述光源组件固定在所述物镜上。
5.根据权利要求4所述的芯片局部涂覆装置,其特征在于,所述光源组件为环形LED灯组件。
6.根据权利要求1所述的芯片局部涂覆装置,其特征在于,所述载物台包括竖直方向上层叠设置的载物板、支架和底板;所述载物板通过第一移动组件与支架连接,使得载物板能够在垂直于支架的方向上水平移动;所述支架通过第二移动组件与底板连接,使得支架能够在平行于支架的方向上水平移动,从而带动所述载物板在平行于支架的方向上水平移动;所述底板通过底板上开设的螺纹孔套接在竖直设置的丝杆上,使得所述底板能够沿竖直方向上下移动,从而带动所述支架和所述载物板沿竖直方向上下移动。
7.根据权利要求6所述的芯片局部涂覆装置,其特征在于,所述支架包括平行设置的多条支撑杆;所述第一移动组件包括第一齿轮和第一齿条,所述第一齿轮固定在所述载物板的底部,所述第一齿条固定在支架上,且垂直于每条所述支撑杆;所述第二移动组件包括第二齿轮和第二齿条,所述第二齿轮固定在所述支架的底部,所述第二齿条固定在所述底板的上表面,且平行于所述支撑杆。
8.根据权利要求1所述的芯片局部涂覆装置,其特征在于,所述涂覆探针固定在探针固定座上。
9.根据权利要求8所述的芯片局部涂覆装置,其特征在于,所述探针固定座包括三轴移动组件,所述涂覆探针固定在固定板上,所述固定板安装在所述三轴移动组件上,使得所述固定板能够通过所述三轴移动组件在X轴、Y轴和Z轴方向上移动。
10.根据权利要求1所述的芯片局部涂覆装置,其特征在于,所述涂覆探针内径为5-10um,外径为10-15um。