有效

圆形对称结构的LDMOS器件及其制备方法

赵东艳、王于波、郁文、陈燕宁、刘芳、吴波、余山、付振、朱松超、王帅鹏
北京芯可鉴科技有限公司

摘要

本发明提供一种圆形对称结构的LDMOS器件及其制备方法,包括:衬底、栅介质层和栅电极;衬底上划分有第一区域,第一区域形成有高压阱区;第一区域包括第二区域和第三区域;第二区域形成有体区,第三区域形成有漂移区,漂移区和体区位于高压阱区内;第二区域包括第四区域和第五区域,第四区域经离子注入形成源区;第三区域包括第六区域和第七区域;第七区域经离子注入形成漏区;栅介质层形成在第五区域和第六区域上方;栅介质层包括薄氧区和场氧区;场氧区表面划分有第八区域;栅电极设置在第八区域与薄氧区上。采用中心对称布局,消除工艺梯度误差,提升量产工艺的良率、均匀性和一致性;采用圆形场板结构,提升器件的击穿电压和可靠性。

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