有效

高压非对称结构LDMOS器件及其制备方法

郁文、陈燕宁、付振、刘芳、王帅鹏、邓永峰
北京芯可鉴科技有限公司

摘要

本发明提供一种高压非对称结构LDMOS器件及其制备方法。该LDMOS器件包括:漂移区和体区;漂移区的表面划分有第一区域和第二区域;体区的表面划分有第三区域和第四区域,第二区域和第四区域被第一栅介质层延伸覆盖;第一栅介质层的表面划分有第七区域,第七区域位于漂移区上方且被第二栅介质层覆盖;第二栅介质层的表面划分有第六区域和第五区域,第五区域以及第七区域以外的第一栅介质层被多晶硅栅延伸覆盖;漂移区的第一区域由表面向内形成有漏区;体区的第三区域由表面向内形成有源区,漏区深度大于源区深度。双层栅介质结构保障器件在高电压大电流条件下的工作可靠性。漏区结深大于源区结深,有效提升漏区对导电沟道的控制能力。