纳米级复合式多轴精密位移系统开发

本发明公开了一种高精度位移传感器数字化检测装置，包括升降基础组件、激光干涉组件、夹持组件，激光干涉组件和夹持组件安装在升降基础组件上，夹持组件用于紧固待检位移传感器，待检位移传感器用于检测升降基础组件的精密工作台的位移变化量，激光干涉组件能够通过精密工作台的运动产生干涉光的变化量，从而得到精密工作台的位移变化量，本发明通过升降基础组件实现高精度的位移量的调整，通过激光干涉组件实现调整后位移的测量，通过夹持组件实现不同类型传感器的夹持与调整。本发明能够实现高精度位移传感器的高效率的连续的数字化检测。

本发明公开了一种基于MEMS阵列式的新型惯性导航系统，包括轴向平行安装的MEMS阵列和空间斜置安装的光纤陀螺，所述MEMS阵列沿X、Y、Z轴向正交配置，每个轴向均包含多个MEMS加速度计和多个MEMS单轴陀螺，所述光纤陀螺实现对所述MEMS单轴陀螺测量误差的在线标定；同时公开了该惯性导航系统的信息融合与标定方法，其中信息融合方法包含MEMS阵列器件融合技术、MEMS陀螺与光纤陀螺融合方法。该系统能够最大程度发挥MEMS阵列中各个分传感器的性能，摆脱传统MEMS惯性器件工艺瓶颈，实现其在精确制导武器装备中的应用，推动批量装备的微小型化、低成本、智能化发展，满足未来作战需求。

本发明公开一种组合式位移传感器测量装置，属于几何量领域。本发明包括：水平调整柱组件、水平拼接导轨组件、位移测量组件以及设备夹持组件；水平调整柱组件一字分布安装在水平地面上，实现底部基础支撑以及调平功能；水平拼接导轨组件安装在水平调整柱组件上，通过拼接导轨导向以及电机驱动，实现沿水平方向的精确位移；位移测量组件安装在干涉仪安装板以及滑台顶部，通过干涉仪测距光路以及一维位移调整，实现干涉仪光路测量；设备夹持组件安装在一维位移台、横梁以及一维升降台上，实现传感器拉线方向与拼接导轨的平行。本发明结构紧凑、运行行程可调、拆装便捷、能够拼接延长、便于整体拆装，解决拉线位移传感器的日常检测校准问题。