有效

一种高精度位移传感器数字化检测装置

王鲁涛、孙安斌、王继虎、任红磊、乔磊、李艳、高廷、甘晓川、曹铁泽、张伟
中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
王鲁涛机构 暂无
技术领域 暂无
孙安斌机构 暂无
技术领域 暂无
王继虎机构 暂无
技术领域 暂无
任红磊机构 暂无
技术领域 暂无
乔磊机构 暂无
技术领域 暂无
李艳机构 暂无
技术领域 暂无
高廷机构 暂无
技术领域 暂无
甘晓川机构 暂无
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曹铁泽机构 暂无
技术领域 暂无
张伟机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明公开了一种高精度位移传感器数字化检测装置,包括升降基础组件、激光干涉组件、夹持组件,激光干涉组件和夹持组件安装在升降基础组件上,夹持组件用于紧固待检位移传感器,待检位移传感器用于检测升降基础组件的精密工作台的位移变化量,激光干涉组件能够通过精密工作台的运动产生干涉光的变化量,从而得到精密工作台的位移变化量,本发明通过升降基础组件实现高精度的位移量的调整,通过激光干涉组件实现调整后位移的测量,通过夹持组件实现不同类型传感器的夹持与调整。本发明能够实现高精度位移传感器的高效率的连续的数字化检测。