1.一种高精度位移传感器数字化检测装置,其特征在于,包括升降基础组件、激光干涉组件、夹持组件,所述升降基础组件包括底座、立柱、精密升降机构、精密传动机构、传动机构安装座、精密微调机构、升降底座、导向机构、升降导向支撑柱、精密工作台;所述立柱安装在所述底座上,所述精密升降机构安装于所述立柱上,能够沿着所述立柱往复上下运动;所述精密微调机构固定在所述底座上,所述精密微调机构的顶端与所述精密传动机构的一端接触,所述精密传动机构的另一端与所述升降底座相接触,所述精密传动机构为杠杆结构,杠杆臂支点与所述传动机构安装座接触,所述传动机构安装座安装在所述底座上;所述升降底座位于所述精密传动机构的另一端的上部,与所述升降导向支撑柱相连接,所述精密工作台安装在所述升降导向支撑柱的上方,所述导向机构固定在所述底座上,所述升降导向支撑柱能够在所述导向机构中滑动,所述升降导向支撑柱与所述导向机构配合实现所述精密工作台的上下垂直运动,使所述精密工作台与待检位移传感器的测头相接触;所述夹持组件安装在所述精密升降机构上,用于紧固待检位移传感器,待检位移传感器用于检测所述精密工作台的位移变化量;所述激光干涉组件安装在所述精密工作台的下方,能够通过所述精密工作台的运动产生干涉光的变化量,从而得到所述精密工作台的位移变化量,所述精密微调机构的顶端为球头结构,精密传动机构的一端为平面结构,精密微调机构的顶端球头与精密传动机构的一端平面接触;精密传动机构的另一端为球头结构,精密微调机构的球头与升降底座的平面相接触;传动机构安装座带有V型结构,所述精密传动机构的杠杆臂为圆柱结构,杠杆臂支点采用圆柱与V型结构接触的方式与传动机构安装座接触,所述升降基础组件还包括复位弹簧、锁紧螺母、压盘,所述复位弹簧嵌入升降底座与底座之间,上端嵌入底座,下端嵌入升降底座,所述锁紧螺母用于将精密微调机构固定在所述底座上;所述压盘用于将导向机构固定在所述底座上。
2.如权利要求1所述的高精度位移传感器数字化检测装置,其特征在于,所述激光干涉组件包括反射镜、干涉镜安装座、通光孔、干涉镜组、出光头、光纤,光纤的一端连接激光输入装置,另一端连接出光头,出光头前方垂直方向上安装有干涉镜组,干涉镜组固定在干涉镜安装座上,干涉镜安装座上设置有通光孔,干涉镜组的中心与通光孔的中心在一条垂直线上,反射镜设置在通光孔的垂直上方,反射镜的中心与通光孔中心、干涉镜中心在一条线上,反射镜嵌入所述精密工作台内。
3.如权利要求2所述的高精度位移传感器数字化检测装置,其特征在于,所述激光干涉组件还包括出光头安装座,出光头通过螺纹与出光头安装座相连并固定,出光头通过出光头安装座固定在底座上,出光头安装座通过螺钉固定在底座上,干涉镜安装座通过螺钉固定在底座上。
4.如权利要求1-3中任一项所述的高精度位移传感器数字化检测装置,其特征在于,所述夹持组件包括滑架、第一锁紧螺钉、第二锁紧螺钉,所述第一锁紧螺钉安装在滑架的背面,第一锁紧螺钉与精密升降机构相互配合固定在立柱上,第二锁紧螺钉安装在滑架前端,用于紧固待检位移传感器。
5.如权利要求1-3中任一项所述的高精度位移传感器数字化检测装置,其特征在于,所述导向机构包括密珠轴承、外筒、压盘,所述密珠轴承采用大于G10等级的球,通过内嵌球保持架保持球均匀分布,上下密珠轴承安装在外筒的上下端,上下密珠轴承分别通过压盘安装卡紧。
6.如权利要求1-3中任一项所述的高精度位移传感器数字化检测装置,其特征在于,所述底座采用中空带加强筋的结构,所述底座设置有两个精密导向孔,用于所述导向机构的安装,保证精密工作台的上下运动,所述底座设置有螺纹孔,用于所述立柱的安装,所述底座的前端设置有安装孔,用于所述精密微调机构的安装。
7.如权利要求6所述的高精度位移传感器数字化检测装置,其特征在于,所述精密升降机构采用齿轮齿条结构,齿条部分通过嵌入方式与立柱固定,齿轮部分嵌入滑架中,实现滑架与所述精密升降机构的连接和随动。