晶圆厂天车系统(AMHS)高架升降搬运功能(OHT)的开发
天津蓬宜达科技有限公司长期致力于服务半导体行业,在晶圆厂天车物流系统方面开展了多项技术开发,并成功应用,包括零部件和系统集成。目前需要通过技术开发改造来解决晶圆厂内老旧的天车系统因物料搬运口少且位置固定而造成的效率低下问题。 原有天车系统(AMHS)配置8个stocker,所有晶圆盒只能从8个stocker的搬运口处人工取放,已不能满足当下的产能和自动化需求。整体升级天车系统又因为高成本和厂房的结构尺寸问题无法实现,所以通过技术开发改造对天车系统进行扩展升级是更加可行的方式。
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发布日期20250308
2025年河北天津技术需求清单