天津蓬宜达科技有限公司作为半导体行业的服务提供商,专注于晶圆厂天车物流系统的技术研发与集成应用,已成功实施多项技术创新。当前,随着半导体生产规模的不断扩大及自动化要求的日益提高,晶圆厂内现有的老旧天车系统面临严峻挑战。具体问题在于,该系统仅配置8个固定的物料搬运口,所有晶圆盒的取放均需通过这8个搬运口进行人工操作,这不仅限制了搬运效率,还难以满足日益增长的产能需求和自动化生产标准。鉴于整体升级天车系统存在高成本及厂房结构限制等问题,寻求一种通过技术开发改造来扩展升级天车系统的方案显得尤为迫切。此需求旨在通过技术创新,解决老旧天车系统搬运口少、位置固定导致的效率低下问题,以适应现代半导体生产的高效、自动化需求。
本技术需求的核心在于开发晶圆厂天车系统(AMHS)的高架升降搬运功能(OHT),以实现物料搬运的高效、灵活化。关键技术问题包括但不限于:
本技术需求的实施将带来以下显著效果:
天津蓬宜达科技有限公司长期致力于服务半导体行业,在晶圆厂天车物流系统方面开展了多项技术开发,并成功应用,包括零部件和系统集成。目前需要通过技术开发改造来解决晶圆厂内老旧的天车系统因物料搬运口少且位置固定而造成的效率低下问题。 原有天车系统(AMHS)配置8个stocker,所有晶圆盒只能从8个stocker的搬运口处人工取放,已不能满足当下的产能和自动化需求。整体升级天车系统又因为高成本和厂房的结构尺寸问题无法实现,所以通过技术开发改造对天车系统进行扩展升级是更加可行的方式。
