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专利列表
- 有效
一种石墨烯转移方法
申请日: 20230117 公开日: 20260317 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 有效
一种具有自对准结构的射频晶体管制备方法
申请日: 20230117 公开日: 20250708 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 有效
一种金属互连线制备方法
申请日: 20230303 公开日: 20250624 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 在审
一种与二维材料兼容的单晶AlO介质及其集成器件
申请日: 20240628 公开日: 20241015 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 有效
一种电极层的制备方法及半导体结构
申请日: 20210325 公开日: 20240618 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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科研动态
南方科技大学制备晶圆级石墨烯莫尔超晶格，实现强二阶非线性霍尔效应
来源: Science; Science Bulletin合作: 卢海舟、谭文昊、刘久铭、龚振昊、洪云雨、寇煦丰、狄增峰
中国科学院上海微系统所等实现晶圆级低对称性石墨烯莫尔超晶格，室温非线性霍尔效应显著，制成量子整流器阵列
来源: Science合作: 谭文昊、刘久铭、龚振昊、洪云雨、卢海舟、寇煦丰、狄增峰
中科院上海微系统所研制单晶金属氧化物栅介质晶圆，助力低功耗芯片发展
合作: 狄增峰
中科院上海微系统所研制单晶氧化铝栅介质晶圆，用于低功耗二维晶体管
来源: Nature合作: 狄增峰、曾道兵
中科院上海微系统所开发出晶圆级范德华接触阵列
来源: Nature Electronics合作: 刘冠宇、狄增峰、胡伟达
