史敬元

中国科学院微电子研究所

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史敬元,中国科学院微电子研究所高级工程师(副研),硕士导师,中心器件物理表征测试平台负责人。 主要研究领域:从事InP基HEMT器件的研究开发工作,具有丰富的器件工艺开发经验和扎实的器件物理理论基础。研究方向包括提高器件性能,减小器件噪声系数,提高高频特性等。研究成果总结:招收对InP基器件物理、器件工艺、器件模型、器件数学仿真等方面有浓厚兴趣的硕士研究生。

工作经历

  • 2012年加入中国科学院微电子研究所高频高压中心InP化合物半导体课题组至今
  • 2012-05~2023-03 中科院微电子研究所 高级工程师(副研)

教育背景

  • 2005-09--2010-07 曼彻斯特大学 博士学历, 2000-09--2003-07 北京大学物理学院 理学硕士学位, 1996-09--2000-07 北京大学物理学院 学士学位

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与 金智 的合作详情

共 35 项合作记录

双二阶低通滤波器以及高频有源无电感低通滤波电路

20231228

CN202311845721.8

一种石墨烯器件的制造方法

20170527

CN201710391940.1

一种避免光刻胶沾污的二维材料器件制造方法

20170527

CN201710391250.6

一种石墨烯图形化生长方法

20170522

CN201710364847.1

一种基于双层光刻胶工艺的二维材料场效应管制造方法

20170512

CN201710334562.3

一种基于自对准工艺的石墨烯场效应晶体管制造方法

20170508

CN201710317603.8

一种悬浮石墨烯‑硅异质结晶体管结构及其制造方法

20170504

CN201710308536.3

一种石墨烯场效应晶体管及其制造方法

20160510

CN201610306272.3

一种石墨烯场效应晶体管及其制造方法

20160510

CN201610304217.0

减小金属与石墨烯接触电阻的方法及石墨烯FET器件

20160510

CN201610304232.5

金属石墨烯双面接触结构的制备方法及石墨烯晶体管

20160510

CN201610306028.7

一种石墨烯场效应晶体管及其制造方法

20160510

CN201610306295.4

图形化石墨烯及其制备方法

20160427

CN201610270900.7

吸波材料及其制备方法

20160427

CN201610270899.8

石墨烯场效应管的制备方法及形成的石墨烯场效应管

20160427

CN201610269687.8

基于石墨烯的超级电容电极材料的制备方法

20160426

CN201610266171.8

减小顶栅石墨烯场效应晶体管欧姆接触的方法

20160426

CN201610266868.5

基于石墨烯的超级电容电极材料的制备方法

20160426

CN201610266672.6

吸波材料制备方法及形成的吸波材料

20160426

CN201610266170.3

一种将石墨烯从金属表面向目标衬底表面无损转移的方法

20141215

CN201410779092.8

一种将金属铜表面CVD的石墨烯向目标衬底表面转移的方法

20141215

CN201410777633.3

一种对机械剥离石墨烯表面进行原子级清洁处理的方法

20141211

CN201410764087.X

可控清除石墨烯-金属接触区域残留光学光刻胶的方法

20141211

CN201410763701.0

无残留光学光刻胶石墨烯FET的制备及原位表征方法

20141211

CN201410763616.4

一种采用自对准工艺制作石墨烯场效应晶体管器件的方法

20141011

CN201410535591.2

通过自对准工艺制备石墨烯顶栅场效应晶体管器件的方法

20141011

CN201410535650.6

一种碳基半导体器件制备工艺中对衬底进行预处理的方法

20130912

CN201310414732.0

一种可调控碳基半导体器件载流子浓度的表面处理方法

20130912

CN201310414720.8

一种提高碳基半导体器件迁移率的衬底处理方法

20130912

CN201310414069.4

一种石墨烯导电薄膜的制备方法

20130723

CN201310311171.1

一种石墨烯导电薄膜的制备方法

20130627

CN201310263553.1

一种碳基场效应晶体管及其制备方法

20130620

CN201310247317.0

一种石墨烯场效应晶体管及其制备方法

20130608

CN201310228701.6

一种减小石墨烯顶栅FET器件寄生电阻的方法

20130608

CN201310228422.X

一种自对准石墨烯场效应晶体管及其制备方法

20130607

CN201310226455.0