一种超结绝缘栅双极型晶体管、晶体管制作方法和芯片

本发明实施例提供了一种超结绝缘栅双极型晶体管、超结绝缘栅双极型晶体管的制作方法和芯片，该超结绝缘栅双极型晶体管可以包括：沿第一方向交替排列的第一截面区和第二截面区；所述第一截面区和所述第二截面区均包括集电极、集电区、缓冲层、外延层、超结P柱、以及设置于所述超结P柱的上表面且投影位置与所述超结P柱不重叠的P型埋层、载流子存储层、P型阱区、N型掺杂区、氧化绝缘层、第一栅极、第二栅极、第三栅极、发射极中；可以进一步降低器件栅极集电极电容，提高器件开关稳定性。