有效

一种锗基多结型双色长波红外探测器及其制备方法

陈鑫、徐沛然、黄田田、吴郅轩、杨万丽、李庆孜、邓惠勇、戴宁
中国科学院上海技术物理研究所

摘要

本发明涉及半导体器件的技术领域,尤其是涉及一种锗基多结型双色长波红外探测器及其制备方法,其包括:锗基底;设置在锗基底表面的电极注入区、多个阻挡区、多个第一单色吸收区和多个第二单色吸收区;设置在电极注入区上的公共电极、多个第一吸收区电极和多个第二吸收区电极;设置在多个阻挡区、多个第一单色吸收区和多个第二单色吸收区上的钝化层;多个第一单色吸收区和多个阻挡区位于公共电极与多个第一吸收区电极之间,并呈周期性分布;多个第二单色吸收区和多个阻挡区位于公共电极与多个第二吸收区电极之间,并呈周期性分布。本发明能够协助提升探测率并实现双色探测。