有效

MOS管有效沟道长度测试方法及装置

赵东艳、刘芳、丁永康、许凯、高大为、吴永玉、吴波、邓永峰、章明瑞
北京智芯微电子科技有限公司

摘要

本发明提供一种MOS管有效沟道长度测试方法及装置,属于半导体制造技术领域。该方法应用于MOS管测试结构,所述MOS管测试结构包括:多个MOS单元,每一个MOS单元包括衬底、源极、漏极和栅极,所述源极和所述漏极分别设置于所述衬底上,所述栅极位于所述源极和所述漏极之间,所述衬底与所述栅极之间设置有隔离氧化层;其中,各个MOS单元共用一个衬底,各个MOS单元的栅极长度不同,相邻两个MOS单元共用源极或漏极。在测试时只需一组测试结构单元即可测试有效沟道长度,大大提高了测试效率,减小了测试结构所占据空间。