一种新型测量薄膜电阻温度系数的方法及系统

本发明公开一种新型测量薄膜电阻温度系数的方法及系统。本发明给电阻施加不同大小的恒定电流来控制电阻的温度；基于四探针法并通过改进的范德堡法计算电阻；基于不同恒定电流下所测得的电阻，结合红外测温仪获取的温度，计算得到电阻温度系数。本发明可以快速测量出温度，并由此计算出温度系数，节省大量时间成本，同时本发明不受样品大小和探针游移的影响，无需保持重复测量时探针位置一致性。