有效

电流传感器芯片、制作方法和电路

黄海潮、王帅鹏、付振、杨镇骏、程晓峰、李永福、王谦、龙英凯
北京智芯微电子科技有限公司

摘要

本发明提供一种电流传感器芯片、制作方法和电路,涉及半导体领域,制造方法包括:基板;待测电路层,形成于所述基板上表面,待测电流电路呈之字形形成于所述待测电路层;检测电路层,形成于所述待测电路层上表面,所述检测电路层上形成有惠斯通全桥电路,所述惠斯通全桥电路包括四个互连的隧穿磁阻,相邻两个隧穿磁阻之间的金属线接入上电极或接入下电极,每一隧穿磁阻均与待测电流电路在芯片纵向方向重合设置。通过本发明提供的芯片,能够将电流电路引入电流传感器芯片内部,与惠斯通全桥电路形成一体化设计,避免外部机械封装引线等工艺带来的性能干扰,降低噪声影响,提升电流传感器灵敏度。