1.一种多cell纯铌腔内表面铌三锡镀膜设备，其特征在于，包括：外真空系统，用于提供镀铌三锡薄膜的温度与真空度条件，包括真空炉的外真空腔体和用于提供所述外真空腔体内真空环境的外腔体真空系统；内真空系统，用于提供镀铌三锡薄膜洁净的生长环境，包括真空炉的纯铌腔室和用于提供所述纯铌腔室内真空环境的内腔体真空系统；所述纯铌腔室设置于外真空腔体内，用于放置多cell铌腔和锡源蒸发腔，所述锡源蒸发腔固定在所述多cell铌腔两端，被配置成用于盛放锡源的容器；铌腔输送装置，包括主推车和副推车，用于将所述多cell铌腔输送至内真空腔体内；加热电源系统，用于提供蒸镀铌三锡薄膜过程热量；电气自动控制系统，用于控制镀铌三锡薄膜制备过程并采集制备过程各项参数且进行分析反馈；所述外真空系统包括：外真空腔体；双层夹套水冷壳体，包裹在所述外真空腔体外部；外隔热屏，设置在所述双层夹套水冷壳体内部，与所述双层夹套水冷壳体共同被配置成保温屏蔽层；加热器，布置在所述外隔热屏与纯铌腔室之间的空间中，被配置成三个独立的加热区，用于对待镀膜的所述纯铌腔室对应的所述内真空系统侧壁进行加热；测温热电偶，布置在各个独立所述加热区内，被配置成用于对各个所述加热区内的温度进行控制和超温报警；外真空规，布置在所述外真空腔体壳体内表面，被配置成用于测量和检测所述外真空腔体的真空压力和充气压力；内真空纯铌腔支撑，位于所述外真空腔体内壁，且和所述纯铌腔室外壁接触，以起到支撑所述纯铌腔室的作用，布置在所述纯铌腔室轴线垂直向下的方向；外腔体真空系统，由两台扩散泵、两台罗茨泵、两台机械泵组成三级抽气系统，被配置成从大气压到10 -4 Pa均有抽气能力；所述内真空系统中，所述多cell铌腔的腔体轴线与所述真空炉的轴线方向平行；所述内真空系统包括：所述纯铌腔室，被放置于所述外真空腔体的三个独立的加热区包裹的均温区内，与所述外真空腔体的炉门共同被配置成放置所述多cell铌腔的独立内真空腔体；内真空规，布置在所述纯铌腔室炉门上，被配置成用于测量和检测所述纯铌腔室的真空压力和充气压力；内隔热屏，放置于所述纯铌腔室出入口处，被配置成所述纯铌腔室保温隔热层；锡源蒸发腔，使用纯钨螺钉、纯钨螺母固定在所述纯铌腔室两端的法兰上，被配置成用于盛放锡源的容器；锡源加热元件，环绕在所述锡源蒸发腔周围，被配置成具有单独控温功能；内腔体真空系统，采用无油泵组，由两台分子泵、一台分子泵和一台干泵组成的三级抽空系统，被配置成从大气压到10 -6 Pa均有抽气能力。
2.根据权利要求1所述的多cell纯铌腔内表面铌三锡镀膜设备，其特征在于，所述铌腔输送装置包括：铌腔输送装置，用于放置所述多cell铌腔、所述内隔热屏，并将其送入所述纯铌腔室内，被配置成满足拆装铌筒和铌腔输送的需求。
3.根据权利要求1或2所述的多cell纯铌腔内表面铌三锡镀膜设备，其特征在于，所述加热电源系统包括：外真空腔体加热系统，处于所述外隔热屏与所述纯铌腔室之间的空间内，包含多条加热带，形成所述三个独立的加热区；锡源加热系统，处于所述锡源蒸发腔周围，被配置成对锡源进行加热；调压电源，被配置成次级设有电流互感器和电压测量装置；电控柜，被配置成对加热电源系统进行显示和控制。
4.根据权利要求3所述的多cell纯铌腔内表面铌三锡镀膜设备，其特征在于，所述电气自动控制系统包括：工业计算机监控管理模块，被配置成采集镀铌三锡薄膜过程各项参数并且进行分析反馈；可编程控制器为主的过程控制模块，被配置成能够对镀铌三锡膜过程中各项参数进行控制；多回路智能控温仪炉温控制模块，被配置成能够单独控制所述外真空腔体内和所述锡源蒸发腔的温度和真空度。
5.根据权利要求1所述的多cell纯铌腔内表面铌三锡镀膜设备，其特征在于，所述外隔热屏采用耐高温合金制成，呈圆柱体，设有抽空通道；所述内真空纯铌腔支撑采用钼-镧合金制成，呈异形格栅结构；所述纯铌腔室采用金属铌加工而成；所述内真空腔体内隔热屏采用纯铌制造，其腔体内工件均采用高纯钨材料；所述锡源加热元件采用高纯钨丝制成。
6.根据权利要求1所述的多cell纯铌腔内表面铌三锡镀膜设备，其特征在于，所述外腔体真空系统中，所述扩散泵与所述外真空腔体相连的真空管道之间设置了深冷冷阱；所述内腔体真空系统中，所述纯铌腔室与外真空腔体炉门对接处设有水冷冷阱。
7.根据权利要求1所述的多cell纯铌腔内表面铌三锡镀膜设备，其特征在于，所述外真空腔体上均设有真空检测装置用于检测外真空腔体的真空参数；所述内真空腔体上均设有真空检测装置，用于检测内真空腔体的真空参数。
8.根据权利要求1所述的多cell纯铌腔内表面铌三锡镀膜设备，其特征在于，所述锡源加热元件中每个加热元件均有单独的温控系统和加热电源系统，并且其次级电源设有测量装置，能够在电控柜上显示。
