有效

一种刻蚀辅助剂及其制备方法和应用方法

陈加旺、贾锐、李星、李明辉、高志博
中国科学院微电子研究所

摘要

本发明公开一种刻蚀辅助剂及其制备方法和应用方法,涉及感光化学技术领域。所述刻蚀辅助剂包括以组分:0.1‑2.0wt%亚甲基双萘磺酸钠、0.1‑2.0wt%绒面催化剂、0.005‑0.05wt%脱泡剂、0.001‑0.05wt%外观修饰剂、0.1‑2.0wt%反应调节剂,余量为去离子水。本发明中的刻蚀辅助剂以亚甲基双萘磺酸钠为主要成分,配合使用绒面催化剂、脱泡剂、外观修饰剂和反应调节剂,在进行单晶硅表面刻蚀的过程中保证反应持续、稳定、均匀进行,最终得到的单晶硅表面形成了底座边长在3‑5um的金字塔结构形貌,可以实现异质结结构的高质量界面钝化,对于推动异质结太阳能电池产业化具有重要意义。