有效

一种提高铌表面锡成核均匀性的处理方法

杨自钦、何源、潘峰、郭浩、谭腾、张军辉、张生虎
中国科学院近代物理研究所

摘要

本发明公开了一种提高铌表面锡成核均匀性的处理方法。该方法包括以下步骤:1)衬底铌腔阳极化表面处理前的预处理,如高温除气、内表面BCP抛光或EP抛光、超声波清洗;2)衬底铌腔的阳极化处理;3)衬底铌腔阳极化处理后的后处理。本发明的表面处理工艺能够显著提高铌表面锡成核的均匀性,有效避免锡蒸汽扩散法制备的NbSn超导加速腔内表面出现NbSn薄膜分布不均匀的现象而发热,从而降低Nb3Sn超导加速腔的功率损耗并增大NbSn超导加速腔的有效加速梯度。

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