失效

一种高压芯片钝化层的制造方法

刘江、赵哿、高明超、王耀华、乔庆楠、吴迪、何延强、刘钺杨、曹功勋、李晓平、董少华、李立、金锐、温家良
国网智能电网研究院有限公司

摘要

本发明涉及一种高压芯片钝化层的制造方法,包括:制造高压芯片正面;背面减薄加工;制造高压芯片钝化层;制造除背面减薄工艺的高压芯片背面。本发明提供的技术方案在高压芯片制造过程中,将钝化层工艺进行优化,减少芯片的应力,增强钝化层与芯片的粘合,提高钝化层在后续工艺及应用中的可靠性,提高高压芯片的可靠性。

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