一种双光束曝光系统中光栅衍射波面误差的反馈调节方法

本发明涉及一种双光束曝光系统中光栅衍射波面误差的反馈调节方法，包括以下步骤：1)搭建双光束曝光系统；2)建立三维直角坐标系；3)根据所述基板上得到的浮雕型光栅图像制作得到一光栅样品；4)采用斐索干涉仪测量光栅样品的±1级衍射波面误差，获得双光束曝光系统的干涉像差信息；5)采用泽尼克多项式拟合方法对干涉像差进行拟合计算，估算双光束曝光系统的实际点光源位置误差和基板位置误差；6)对双光束曝光系统的实际点光源位置误差和基板位置误差进行调节；7)重新制作光栅样品；8)如果光栅样品的衍射波面误差不能达到预定要求，重复步骤4)～7)。本发明可以广泛应用于双光束曝光系统中光栅衍射波面误差的反馈调节中。