双层结构的室温红外探测器阵列及其制造方法

本发明公开了一种双层结构的室温红外探测器阵列及其制备方法，所述阵列由多个红外探测单元组成，所述探测单元为双层结构，包括上层的红外热转换层和下层的热敏感器件层；所述红外热转换层由支撑薄膜和热吸收层构成；所述热敏感器件层包括热敏感器件、位于热敏感器件下方的承载层、支撑承载层和热敏感器件并使两者悬空在衬底上的折线支撑结构，以及设在热敏感器件和互连线上方的保护层；所述的红外热转换层通过热传导柱支撑在热敏感器件层上。本发明通过纳米颗粒能够有效地提高红外辐射的吸收和热转换效率，并利用多种纳米颗粒实现多波段甚至全波段的红外敏感测量，折线支撑结构能有效地降低热敏感器件的热量损失，提高绝热能力和探测率。