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专利列表
- 有效
微机械开关的制备方法及微机械开关
申请日: 20241202 公开日: 20251024 申请人: 清华大学
- 在审
一种多通道传感通用微系统
申请日: 20240328 公开日: 20240823 申请人: 北京微电子技术研究所
- 在审
静电驱动的微机械开关及其制备方法
申请日: 20240511 公开日: 20240709 申请人: 清华大学
- 有效
红外目标检测器的安全性测试方法和装置
申请日: 20201230 公开日: 20240702 申请人: 清华大学
- 有效
一种金属凸点的键合方法及键合机构
申请日: 20210525 公开日: 20240618 申请人: 清华大学
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