塑料微流控芯片自动对准装置

本发明的塑料微流控芯片自动对准装置是一种高精度的、主要用于塑料微流控芯片的基片、盖片间的自动对准，其对准精度高于3μm，采用显微视觉伺服的控制方式实现基片、盖片上标记间的对准，进而达到基片、盖片对准之目的，整套装置主要由减振装置、光学子系统、四轴运动平台、镜头位置调节装置、粗定位装置、盖片操作装置以及预联接装置组成，整个对准过程分为预对准、对准、预联接三个工序，对准过程中，基片保持不动，通过四轴运动平台实现盖片微小位姿的调整，为减小标记对准误差，采用了分视场的方式，即应用两个相同的可自动变焦、聚焦的显微视觉系统，而预联接采用了热熔接的原理，本发明的突出特点就是所有运动都是在以工控机为核心的计算机控制系统控制下自动实现的，另外，整套装置还具有结构紧凑、操作方便等优点，该对准台可扩展作为普通芯片的自动对准装置。