半导体光刻胶用电子级酚醛树脂国产化。

本申请涉及光刻胶技术领域，具体公开了一种光刻胶用酚醛树脂及其制备方法。所述制备方法包括制备步骤和纯化步骤，制备步骤：单羟基甲酚、多羟基苯酚和醛类化合物在酸性催化剂和水的条件下进行反应，得到反应液；纯化步骤：首先中和剂中和反应液，并分出水相；然后进行水洗处理，并分出水相；最后在35~80℃温度下进行干燥，得到光刻胶用酚醛树脂。所述光刻胶用酚醛树脂是由上述制备方法制备而得。本申请通过在酚醛树脂的结构中适当引入多羟基苯酚，提高酚醛树脂的耐热性，进而提高光刻胶的感光灵敏度、分辨率和反差，同时还可以调节酚醛树脂的碱溶解速率。

本申请涉及光刻胶技术领域，具体公开了一种分子量高度可控的酚醛树脂及其制备方法和应用。所述制备方法包括如下步骤：制备步骤：在惰性气氛下，甲基苯酚类化合物和醛类化合物在酸性催化剂、水存在下发生反应，得到反应液；脱水脱酚步骤：首先采用水对反应液进行水洗处理并分出水相，重复水洗处理，直至所分出的水相pH=6.5~7；然后在35~80℃温度下进行干燥，得到酚醛树脂。所述分子量高度可控的酚醛树脂是由上述制备方法制备而成。所述分子量高度可控的酚醛树脂在制备光刻胶中的应用。本申请在同一反应条件下达到高度控制酚醛树脂的分子量和软化点的目的，保证酚醛树脂的分子量和软化点稳定。

本申请提供一种酚醛树脂及光刻胶，属于光刻技术领域。酚醛树脂包括指定酚同醛缩合而成的产物，指定酚包括第一类酚和第二类酚，第一类酚的结构式如式I所示，第二类酚包括甲酚、二甲酚和三甲酚中的至少一种。光刻胶包括上述酚醛树脂，该酚醛树脂在有效改善光刻胶的感光速度的同时，能使得光刻胶保持较好的耐热性能和形貌。