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一种酚醛树脂及光刻胶
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集成电路前沿新材料光电子产业
摘要
本申请提供一种酚醛树脂及光刻胶，属于光刻技术领域。酚醛树脂包括指定酚同醛缩合而成的产物，指定酚包括第一类酚和第二类酚，第一类酚的结构式如式I所示，第二类酚包括甲酚、二甲酚和三甲酚中的至少一种。光刻胶包括上述酚醛树脂，该酚醛树脂在有效改善光刻胶的感光速度的同时，能使得光刻胶保持较好的耐热性能和形貌。
申请人
北京科华微电子材料有限公司上海彤程电子材料有限公司彤程新材料集团股份有限公司
第一发明人
刁翠梅
著录信息
20221223
20251219
20251219
申请日
首次公开日
授权(公告日)
维持时间：4年
预估到期：20421223
申请号
202211664332
申请日
20221223
公开(公告)号
CN115850623B@FMSQ20251219
当前申请(专利权)人
北京科华微电子材料有限公司
公开(公告)日
20251219
原始申请(专利权)人
北京科华微电子材料有限公司上海彤程电子材料有限公司彤程新材料集团股份有限公司
原始申请(专利权)人地址
101312 北京市顺义区竺园路4号(天竺综合保税区)
发明(设计)人
刁翠梅、于晓伟、詹捷、李冰、陈昕、董栋、张宁
代理人
唐正瑜
代理机构
北京超凡宏宇知识产权代理有限公司
IPC分类号
C08G8/08
C08G8/12
G03F7/023
基本信息
法律信息
引用信息
