申请日: 20250623 公开日: 20251107 申请人: 清华大学深圳国际研究生院
申请日: 20250603 公开日: 20251010 申请人: 清华大学深圳国际研究生院
申请日: 20250403 公开日: 20250819 申请人: 清华大学深圳国际研究生院
申请日: 20220822 公开日: 20221209 申请人: 清华大学深圳国际研究生院
来源: Microsystems & Nanoengineering合作: 张灿阳、赵晓彤、李以婷、张志兵