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专利列表
- 有效
纳米精度六自由度磁浮微动台及应用
申请日: 20100319 公开日: 20111228 申请人: 清华大学
- 有效
一种采用过渡承接装置的光刻机硅片台双台交换系统
申请日: 20071221 公开日: 20111109 申请人: 清华大学
- 失效
一种光刻机硅片台双台交换装置
申请日: 20090120 公开日: 20091216 申请人: 清华大学
- 有效
一种采用十字导轨的光刻机硅片台双台交换系统
申请日: 20071221 公开日: 20091216 申请人: 清华大学
- 失效
一种光刻机硅片台双台交换装置
申请日: 20090120 公开日: 20091216 申请人: 清华大学
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