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专利列表
- 在审
晶圆平整度调整方法、装置、电子设备及介质
申请日: 20251205 公开日: 20260403 申请人: 新毅东科技股份有限公司
- 有效
光刻机内部温度控制系统
申请日: 20241227 公开日: 20260331 申请人: 新毅东科技股份有限公司
- 有效
一种光束质量测试装置
申请日: 20251226 公开日: 20260320 申请人: 新毅东科技股份有限公司
- 有效
一种照明系统及光刻机
申请日: 20241218 公开日: 20260317 申请人: 新毅东科技股份有限公司
- 有效
一种光束指向测量系统的装调校准装置及方法
申请日: 20251202 公开日: 20260317 申请人: 新毅东科技股份有限公司
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