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专利列表
- 在审
一种多纳米线沟道铟镓锌氧薄膜晶体管及其制备方法
申请日: 20250219 公开日: 20250516 申请人: 山东大学
- 在审
一种高性能垂直沟道铟镓锌氧薄膜晶体管及其制备方法
申请日: 20240318 公开日: 20240625 申请人: 山东大学
- 在审
一种基于等离子体增强原子层沉积的超薄氧化铟薄膜晶体管及其制备方法
申请日: 20240305 公开日: 20240607 申请人: 山东大学
- 在审
一种阈值电压受预退火温度可控的顶栅结构铟镓锌氧薄膜晶体管及其制备方法
申请日: 20230922 公开日: 20231229 申请人: 山东大学
- 在审
一种低温制备的透明顶栅交叠型铟镓锌氧薄膜晶体管及其制备方法
申请日: 20230922 公开日: 20231229 申请人: 山东大学
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