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专利列表
- 在审
一种亚分辨率辅助图形二维结构厚掩模近场建模方法
申请日: 20251209 公开日: 20260130 申请人: 武汉宇微光学软件有限公司
- 在审
一种亚分辨率辅助图形三维近场快速建模方法及装置
申请日: 20250930 公开日: 20260106 申请人: 武汉宇微光学软件有限公司
- 有效
可编程照明光源系统的模拟方法及光源掩模协同优化方法
申请日: 20240417 公开日: 20250829 申请人: 武汉宇微光学软件有限公司
- 在审
光刻负显影过程的建模和标定方法
申请日: 20250429 公开日: 20250812 申请人: 武汉宇微光学软件有限公司
- 在审
一种基于代理模型辅助混合遗传算法的光刻模型标定方法
申请日: 20250416 公开日: 20250725 申请人: 华中科技大学
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