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专利列表
- 在审
一种高光响应度的石墨烯硅光探测器及其制备方法和应用
申请日: 20240416 公开日: 20240719 申请人: 北京大学
- 有效
利用PECVD制备石墨烯的装置和方法
申请日: 20200616 公开日: 20231208 申请人: 北京石墨烯研究院
- 有效
PECVD系统
申请日: 20201126 公开日: 20210810 申请人: 北京石墨烯研究院
- 有效
载具
申请日: 20200616 公开日: 20210129 申请人: 北京石墨烯研究院
- 有效
用于等离子体增强化学气相沉积工艺中的载具
申请日: 20191125 公开日: 20200728 申请人: 北京石墨烯研究院
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