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专利列表
- 在审
一种晶圆级半导体单壁碳纳米管阵列薄膜制备方法及装置
申请日: 20251103 公开日: 20260224 申请人: 北京华碳元芯电子科技有限责任公司
- 在审
一种包裹聚合物的碳纳米管材料后处理方法及器件
申请日: 20250305 公开日: 20250606 申请人: 北京华碳元芯电子科技有限责任公司
- 有效
具有局域底栅的晶体管及其制作方法
申请日: 20210714 公开日: 20240604 申请人: 北京华碳元芯电子科技有限责任公司
- 在审
一种刻蚀装置及刻蚀方法
申请日: 20221013 公开日: 20240426 申请人: 北京华碳元芯电子科技有限责任公司
- 有效
晶体管及制作方法
申请日: 20200511 公开日: 20220715 申请人: 北京华碳元芯电子科技有限责任公司
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