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一种光学元件激光加工与面形误差原位实时检测方法及装置
申请日: 20240528
公开日: 20240830
申请人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
在审
科
研
动
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所提出激光直写应力诱导纳米修形新方法，实现非晶硅薄膜纳米形貌高精度调控
来源: Laser & Photonics Reviews
合作: 张学军、张志宇
2026-08-10
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