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专利列表
- 有效
一种基于正交回转轴系的凸面光栅机械刻划系统及方法
申请日: 20240412 公开日: 20260331 申请人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 有效
一种金属线栅结构及其制备方法
申请日: 20260203 公开日: 20260331 申请人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 有效
一种光栅干涉测量装置
申请日: 20251125 公开日: 20260320 申请人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 有效
水平加载对刃的竖置光栅刻划刀架装置
申请日: 20230830 公开日: 20260217 申请人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 有效
一种高速转台转动角度的测量装置及其测量方法
申请日: 20250928 公开日: 20251230 申请人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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